等離子清洗機(jī)在光伏玻璃行業(yè)的應(yīng)用主要包含在下面的這5個(gè)方面：
 

　　一、清洗指紋油污：電池片表面會(huì)因?yàn)閱T工排片或焊接過(guò)程中手指碰觸會(huì)留下指紋以及油污等，電池片表面具有細(xì)致的絨面結(jié)構(gòu)，因此清理起來(lái)比較困難。油污等會(huì)阻礙電池片表面對(duì)光的吸收及利用，導(dǎo)致組件的發(fā)電效率降低。低溫等離子體會(huì)通過(guò)電離氣體產(chǎn)生高溫高速的電子束流(宏觀呈現(xiàn)低氣體溫度)，束流在軸向風(fēng)機(jī)的作用下吹掃，去除電池表面的油污、指紋等，從而起到清洗的作用
 

　　二、表面制絨：多晶硅光伏電池表面需要通過(guò)制絨工藝來(lái)制備一層蠕蟲狀的絨面，以此來(lái)提高光的吸收和利用效率。一般制備工藝是利用硝酸和氫氟酸按一定配比對(duì)多晶硅電池表面進(jìn)行絨面腐蝕制備，在硅片表面形成一層多孔硅。多孔硅可以作為吸雜中心，提高光生載流子壽命并且具有較低的反射系數(shù)。但是多孔硅結(jié)構(gòu)松散不穩(wěn)定，具有較高的電阻以及表面復(fù)合率。低溫等離子體的高速粒子撞擊在電池片表面，一方面可以將絨面處理得更加細(xì)致有序，另一方面也可以使 表面結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)定，減少了復(fù)合中心的產(chǎn)生。

 

　　三、溫性刻蝕：光伏制備工藝中由于磷的擴(kuò)散，電池片表面及邊緣會(huì)不可避免地?fù)饺肓自亍９馍娮訒?huì)隨著磷的擴(kuò)散由正面流動(dòng)到背面，造成 PN 結(jié)短路，從而導(dǎo)致并聯(lián)電阻降低。并聯(lián)電阻反映的是電池的漏電水平，它會(huì)影響太陽(yáng)電池的開路電壓，它的減小會(huì)使開路電壓降低，但對(duì)短路電流基本沒(méi)有影響。電池片表面還會(huì)形成 PSG(磷硅玻璃)，PSG 易吸收空氣中的水分，導(dǎo)致電流降低和功率衰減。低溫等離子體可以通過(guò)粒子吹掃將多余擴(kuò)散的磷分解，從而達(dá)到去除 PSG 的目的。
 

　　四、表面鈍化：光伏電池制備過(guò)程中由于切割工序的存在，會(huì)在電池片表面形成懸掛鍵，懸掛鍵具有捕獲光生載流子的作用，限制光電流的產(chǎn)生，是光伏電池較為嚴(yán)重的能量損失方式。低溫等離子體可以電離氫氣體，用氫離子來(lái)修補(bǔ)鈍化電池片表面的懸掛鍵，使硅原子恢復(fù)到穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。
 

　　五、降低死層影響：在擴(kuò)散區(qū)中，由于不活潑磷原子處于晶格間隙位置，會(huì)引起晶格缺陷。由于磷和硅的原子半徑不匹配，高濃度的磷還會(huì)造成晶格缺陷。因此，在硅電池表層中，少數(shù)載流子的壽命極低，表層吸收短波光子所產(chǎn)生的光生載流子對(duì)電池的光電流輸出貢獻(xiàn)甚微，因此，該表層稱為“死層”。“死層”的存在是不可避免的，但是可以利用一些方法來(lái)降低“死層”的影響。低溫等離子體的吹掃可以使表面磷原子分布更加均勻，促進(jìn)磷原子的正確落位，從而降低了電池片表面的死層影響。
 

　　低溫等離子體處理的一個(gè)顯著特點(diǎn)是對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行控制，使其具有良好的可靠性和重現(xiàn)性，特別是在工業(yè)生產(chǎn)中。低溫等離子體技術(shù)在不久的將來(lái)有望在第三代太陽(yáng)能電池中發(fā)揮重要作用。